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      名称:镀膜机
    镀膜机:
    UNIVEX 为莱宝真空生产的专门用于实验室研发和小
    批量生产的小型镀膜机,它可以满足用户的不同需求,并可
    根据用户的具体要求特殊设计。
    UNIVEX 有多种形式或附件可供选择:
    1. 外型:钟罩式或箱式
    2. 大小:内径300mm,450mm,490mm
    3. 源的个数:单个或多个
    4. 蒸发方式:电加热;电子束蒸发;直流和射频溅射;
    离子辅助沉积
    5. 基片旋转:普通电机驱动,步进电机驱动;行星旋

    6. 基片处理:基片加热;基片冷却;基片射频偏压;
    基片温度控制
    7. 膜系:单层,多层,多种材料同时沉积
    8. 膜厚:膜厚测量仪;膜厚控制仪
    9. 辉光清洗;挡板
    10. 高真空泵:分子泵或低温泵
    11. 前级真空泵,有油泵或无油泵
    12. 控制方式:手动,半自动,全自动
    13. 预真空室
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