用于特殊元气件的真空除气及气体封装，配有真空抽气系统、加热烘烤系统、气体纯化系统、电控控制系统。采用PLC程序控制及工业组态软件，实现真空除气、封装的自动化生产；同时对生产过程中的过程数据进行采集记录。
技术特点：
l 自动化生产系统
l 模块化编程，工艺路线可选择调整
l 安全互锁，保证可靠运行
l 产品数据记录，保证产品可追溯
l 高性能纯化系统，保证封装气体的纯度
l 多工位设计，提高量产
l 真空室特有的真空处理保证系统洁净
l 特殊需求可以单独定制
技术参数：
CSFZ-180 | |
极限真空 Pa | 5×10-5 |
工作真空 Pa | 8×10-4 |
最高工作温度℃ | 180 |
充气压力 kPa | 50 ~ 110（绝对压力） |
产品工位数 | 6 |
主抽泵 | 分子泵 |
纯化装置 | 有 |
选配附件：
封装气体 | 可定制 |
气体纯化装置 | 可定制 |
产品工位 | 数量及尺寸可定制 |
