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      名称:四极质谱校准装置

    本装置由四极质谱计、球形校准室、分子泵系统、微调阀进样等组成,可对四极质谱计进行测试校准。校准室及管道真空脱气处理,降低系统本底对校准参数的影响。

    可以选配高精度的标准样气配气装置,用于四极质谱计的校准。


    技术参数:

     

    JZZ1

    校准范围amu

    1~200

    极限真空Pa

    5×10-6

    校准室直径 mm

    Sφ350

    校准室接口

    3×DN 40 CF

    校准器

    高性能四极质谱计

    校准器测量下限

    5×10-15mbar(分压力)

    校准器灵敏度

    1×10-4A/mbar

    主抽泵

    分子泵

    真空测量

    电离计

    校准室加热装置

    校准室加热温度范围℃

    室温~250

    温度测量传感器

    PT100

    装置不确定度

    10%

     

    选配附件:

    配气系统:

    高精度标准样气配气装置

    定制


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