装置采用固定体积条件下压力变化测量原理，实现不同工作温度下漏孔的漏率校准。系统采用高性能测量单元及主动温控箱，配以优质的阀门管路，实现高低温环境下的漏孔漏率校准，弥补了航天领域类似系列产品的空白。
技术特点：
l 实现高低温环境温度控制
l 高精度的压力测量系统
l 进口阀门控制
l 稳定可靠
l 特殊需求可以单独定制
技术参数：
ZJL6 | |
校准范围 Pam3/s | 1×10-3 - 2×10-7 |
校准温度范围℃ | -20 ~ 80 |
校准气体 | N2、He、Ar |
校准室接口 | 定制 |
校准器 | 高性能薄膜计 |
真空测量 | 薄膜计 |
主动恒温箱 | 工作温变速率≤1℃/15min， |
温度测量传感器 | PT100 |
选配附件：
转接口 | |
转接口 | 参照“真空转接件”选配 |
恒温室： | |
主动恒温室 | 工作温变速率≤1℃/15min，特殊需求可定制 |
