采用累计法进行比对校准。利用固定流导流量计获得稳定流量，通过与被校气体流量分压力比对进行校准。
采用进口真空系统及真空处理获得洁净本底，利用高精度的压力测量及环境温度控制获得稳定校准流量，降低极小气体流量分压力校准的不确定度。
技术参数：
JZL4 | |
漏率校准范围 Pam3/s | 10-9 - 10-12 |
极限真空 Pa | 1×10-8 |
校准器 | 高性能四极质谱计 |
校准器测量下限 | 6.6×10-15mbar（分压力） |
校准器灵敏度FC EM | 1.5×10-4amps/mbar 380 amps/mbar |
主抽泵 | 分子泵、吸气泵 |
真空测量 | 电离真空计 |
校准室加热装置 | 有 |
校准室加热温度范围℃ | 室温~250 |
温度测量传感器 | PT100 |
恒温箱 | 有 |
进样接口 | 4VCR |
选配附件：
转接口 | |
转接口 | 参照“真空转接件”选配 |
恒温室： | |
被动恒温室 | 工作温变速率≤1℃/15min 特殊需求可定制 |
主动恒温室 | 定制 |
