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      名称:质谱仪(残余气体分析仪、大分子量质谱、等离子体质谱)
    1.美国INFCON公司提供的Transpector2、100、200、300amu系统带法拉第杯或电子倍增器的组合,改进并提高氢气的监测,卓越的峰值和位置的稳定性,与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍,9个数量级的电子学动态量程,分压测量从1*10-4~2*10-14Torr,广泛的应用于PVD机台或工艺状态,刻蚀,CVD注入。
    更为强大TranspectorXPR3最小测量分压可达到1*10-2Torr,广泛适用于溅射,电子束蒸发等镀膜工艺的过程控制。
    在线质谱IPC400的研制,解决客户在高压强下分析气体成分的可能性,为客户提供在线实时监测工艺状态的可能。
    在线质谱仪Transpector CPM,曲线可以从大气取相,更为宽广的测量空间。CPM 紧凑型过程监控器是一款功能全面、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪,适用于现场监控复杂的过程。
    2.QMG700高性能四极质谱仪。
    高测量速度0.125 ms/amu、超高灵敏度和宽广的动态范围扫描表示空气的谱线.在空气中检测到136 Xe (氙) 的含量为 7,8 ppb, 比噪声水平高数个量级.达到超过 10 个量级的动态范围。质量数1-1024amu可选择,离子源类型可选。
    3.PPM422等离子体过程检监控器是一种集成有能量分析器的差分泵质谱仪,可用于测量中性粒子、正离子和负离子,以及对等离子加工过程中的离子和中性粒子进行能量分析。
    功能特点:检测等离子体中的中性粒子和正负离子
    中性粒子和正负离子能量分析
    自由基测量
    等离子过程的终点检测
    宽泛的动态量程
    高测量速度
    vacuum H
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