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      名称:UL1000型氦质谱检漏仪
    UL1000型氦质谱检漏仪,灵活的测试性能,高灵敏度,快速与精确的结果,其中离子源保修期为三年,超强的I.CAL专利智能化漏率计算程序,测试的灵敏度可达到1.00*10-12mbar.L/s,广泛的应用于半导体工艺设备的维护,标准漏空的测试与校准,电子元器件超强的检漏模式,要求高抽速,高灵敏度以及清洁条件的应用场合。
    INFICON检漏仪在洁净室中制造。所用的全部元件包括阀门与软管均是无油的,并在无油的条件下组装与测试。
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