真空密封盒体整体漏率测量装置，可用于极小漏率密封盒体的整体漏率检测。具有内部充氦管路，可以保证密封盒体内的氦压稳定；专用密封盒送样机构，实现密封盒的进出送样；全金属密封结构，实现极小漏率的测量。
主抽泵采用德国莱宝的分子泵确保真空室的真空性能，进口的四极质谱计及经计量的漏率校准器具可进行测试比对。
技术参数：
CSMF-400 | |
漏率测量范围 Pam3/s | 5×10-8 - 5×10-12 |
极限真空 Pa | 5×10-7 |
测试室直径 mm | φ400 |
进样接口直径 mm | φ250 |
测量分析元件 | 高性能四极质谱计 |
质量数范围amu | 1~200 |
灵敏度 A/mbar | 3.8×10-4（FC） |
最小检测分压力 Pa | 4×10-13（EM） |
主抽泵 | 分子泵、吸气泵 |
主抽阀 | 插板阀 |
真空测量 | 电离计、薄膜计 |
加热装置 | 有 |
测试室加热温度范围℃ | 室温~180 |
温度测量传感器 | PT100 |
