该装置采用定容法及质谱分析法用于对薄膜透气率的测试，可以测量不同类型薄膜在不同压差下的透气率及气体的成分分析。
技术参数：
CSMT-150 | |
极限真空 Pa | 1.5×10-6 |
输入******压力 bar | 2（abs） |
测试薄膜直径 mm | φ150（可定制） |
测量分析元件 | 高性能四极质谱计 |
质量数范围amu | 1~200 |
最小检测分压力 Pa | 4×10-13（EM） |
抽气系统 | 分子泵抽气机组 |
真空测量 | 电离计 |
加热装置 | 有 |
测试室加热温度范围℃ | 室温~180摄氏度 |
温度测量传感器 | PT100 |
供电电源 | 380V，50Hz |
功率 kW | 10 |
