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      名称:真空材料出放气测量装置

    真空工程应用中尤其在超高真空、极高真空条件下必须需要对应用材料进行相关测量,以供真空应用设计时选择;该装置用于对金属或非金属等材料在真空条件下出气率及气体成份的测量。

    材料放气率测试方法分为定容法、小孔法、双通道法等。其中大出气率(量)材料如橡胶、有机材料等采用定容法原理进行测试,小出气率(量)材料如不锈钢、铝、铜等测量可用小孔法、双通道法原理进行测试。

    真空系统采用进口磁悬浮分子泵为主抽泵,无油涡旋泵为前级;进口隔断阀作为管路截止,高性能的进口真空计、四极质谱计作为测量系统。真空测试室全部采用高性能的不锈钢材料加工焊接,并进行真空除气处理。


    技术特点:

    l   分体结构设计

    l   定容法与小孔法(双通道法)可以独立成单一系统

    l   计量标准器由国家计量院或国防一级站进行计量

    l   进口抽气系统

    l   进口阀门控制

    l   真空室特有的真空处理保证系统洁净

    l   特殊需求可以单独定制

     

    技术参数:

     

    CSCL-D1

    CSCL-T1

    测量方法

    定容法

    小孔法(双通道法)

    测量下限Pa·m3/s·cm2

    5×10-8

    5×10-12

    极限真空       Pa

    5×10-7

    1×10-8

    测试室直径 mm

    φ200

    φ200

    测试室接口

    DN 160 CF

    DN 160 CF

    样品栏规格         mm

    100 ×100 × 1/2/3

    100 ×100 × 1/2/3

    放气组份测量单元

    高性能四级质谱计

    高性能四级质谱计

    放气组份质量范围amu

    1~200

    1~300

    最小检测分压力      Pa

    4×10-13

    2×10-13

    主抽泵

    分子泵

    分子泵

    真空测量

    电离计、薄膜计

    电离计

    加热装置

    测试室加热温度范围℃

    室温~250

    室温~250

    温度测量传感器

    PT100

    PT100

    不确定度

    15%

    20%


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